夏克-哈特曼波前测量技术具有测量光路简单、光能利用率高、测量动态范围大、动态测量、对光源相干性不做要求等优点,已广泛应用于自适应光学、光学加工及装调检测、眼科医疗和激光参数诊断等领域。随着超精密光学元件加工制造的精度越来越高,以及高功率激光装置建设规模越来越大,都对波前测量精度提出了更高的要求。
          目前夏克-哈特曼波前测量精度的空域评价手段无法与高精度光学元件表面不同频段加工精度及高功率激光装置不同频段波前畸变测量精度的评价直接建立关系,故如何全面客观的评价及提高夏克-哈特曼波前测量精度来满足当今对高精度波前测量的需求是目前亟需解决的科学问题。
         2021年5月19日，我司首次通过高精度球面波发生装置对哈特曼进行标定，通过光学设计和高精密移动台实现了高精度球面波，使球面波误差RMS值达到12nm。相比于传统标定方式，简化了光路调节步骤，减少了可能的误差引入环节，提高了标定精度。经高精度球面波对128×128阵列哈特曼标定后哈特曼可实现500Hz采样下20nm精度的波面复原。

上图：系统软件运行界面

上图：设备实物图